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產品詳情
產品特點
高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；
滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區(qū)；
可實現快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長溫度更低。
技術參數
| 項目 | 型號 | TFE - 1200 - 50 - 220 |
| 設計溫度 | 1150℃（短期） | |
| 額定溫度 | 1100℃ | |
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
| 控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
| 爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
| 加熱區(qū)長度 | 220mm | |
| 恒溫區(qū)長度 | 80mm | |
| 加熱元件 | 優(yōu)質國產電阻絲 | |
| 額定功率 | 3KW | |
| 供氣系統(tǒng) |
三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） |
|
| 射頻電源 |
射頻功率：5-500W； 射頻頻率：13.56MHz； 匹配方式：自動匹配 |
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| 真空系統(tǒng) | 雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等） | |
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
具有鋼結構工程專業(yè)承包二級資質、建筑工程施工總承包貳級資質；公司主營產品包括重鋼、輕鋼、網架及檁條、彩鋼板等鋼結構產品；近年來，公司承接了國內外大型結構件、橋梁、車庫、標準化廠房等具有較大影響力的一系列項目；產品遠銷白俄羅斯、贊比亞、印尼等國家，得到了一致好評。
關鍵詞： 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
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